3千瓦磁控管整機配對技術取得突破

更新日期：2025-06-11  點(dian)擊量：131

軍品裝配廠連續波磁控管研發團隊通過長時間的日夜奮戰,在用戶單位技術人員的大力支持下，用于半導體集成電路裝備國產化替代的3千瓦連續波成對工作磁控管，于5月下旬取得重大突破，實現了與整機的成功對接。3千瓦連續波磁控管的成功應用，標志著我國在半導體裝備領域，有望打破日本企業的長期技術壟斷。

作為(wei)半導體(ti)(ti)集成電路制(zhi)(zhi)造裝備(bei)的關鍵(jian)器件，3 千(qian)瓦連續波成對工作磁控管的制(zhi)(zhi)造工藝要(yao)求極其苛刻，成為(wei)制(zhi)(zhi)約我國半導體(ti)(ti)裝備(bei)自主化進程(cheng)的“卡(ka)脖子”難題(ti)。

為了打破國外技術壟斷，服務于國家發展戰略，加快國產化進程，公司成立了連續波磁控管研發團隊，根據用戶提出的性能指標參數，制訂了工藝路線圖，確定了關鍵工序和時間節點，進行技術攻關和工藝驗證，定期召開團隊碰頭會，及時討論研發過程中遇到的問題，經過研發人員廢寢忘食的工作、反復驗證、不斷進行工藝優化和改進，進行模擬上機對接，成功研發出滿足用戶配對要求的3千瓦連續波磁控管。

根(gen)據項目(mu)進展(zhan)規劃(hua)，用戶方將在完成(cheng)6對磁控管的全周期耐久試驗(yan)與參數穩定性驗(yan)證(zheng)后，正式啟動批量生產訂貨流(liu)程。

下(xia)(xia)一(yi)步，軍品(pin)裝配(pei)(pei)廠將全(quan)(quan)力(li)保障首批(pi)(pi)3千(qian)瓦成對(dui)磁控管(guan)的(de)(de)(de)順利供貨，同(tong)步優(you)化(hua)生產(chan)工藝流程，提升產(chan)品(pin)一(yi)致性與良品(pin)率，快速形(xing)成穩定可靠(kao)的(de)(de)(de)批(pi)(pi)量交付能力(li)；針對(dui)已突(tu)破的(de)(de)(de)整機(ji)配(pei)(pei)對(dui)技術(shu)，深入(ru)開(kai)展應用驗(yan)證與優(you)化(hua)，重(zhong)點提升成對(dui)磁控管(guan)在長期連(lian)續運(yun)行情況(kuang)下(xia)(xia)的(de)(de)(de)同(tong)步性、熱(re)匹(pi)配(pei)(pei)性及壽命一(yi)致性等(deng)關鍵指標，顯著增強整機(ji)系統的(de)(de)(de)工作穩定性和使用壽命；在完成首批(pi)(pi)6對(dui)磁控管(guan)驗(yan)證的(de)(de)(de)基(ji)礎上，擴大驗(yan)證范圍(wei)與場景，積累更全(quan)(quan)面的(de)(de)(de)運(yun)行數據，建立完善的(de)(de)(de)3千(qian)瓦成對(dui)磁控管(guan)技術(shu)規(gui)(gui)范與測試標準體系，為大規(gui)(gui)模應用奠定堅實(shi)基(ji)礎；在確保11月份前向(xiang)客(ke)戶提供200對(dui)3千(qian)瓦連(lian)續波磁控管(guan)的(de)(de)(de)前提下(xia)(xia)，基(ji)于本次技術(shu)突(tu)破積累的(de)(de)(de)經(jing)驗(yan)，為未(wei)來更大功率等(deng)級磁控管(guan)的(de)(de)(de)成對(dui)技術(shu)研(yan)發進行前瞻性儲備。